不太懂哈，纯想象：EUV光刻机这个，据说有10万个零件。这其中，真正关键的部件（不是零件）只有少数几个，光源、镜头、工件台，再就是技术专利了吧。除了关键部件之外，其他的部件，以中国今天的工业水平，都不成其为问题。部件设计没啥难度，制造则不外乎特殊的材料，特定的加工工艺之类，没啥黑科技。
这就像前些年中国搞盾构机，先是说这东西很牛逼，是工业皇冠上的明珠啥的，结果863立个项，一年时间就搞出首台了，然后不断迭代优化，现在国产盾构机都烂大街了。说到底，就是工业水平到这一步了，搞个什么管片拼装机、螺旋出碴机之类的，没啥难度。
据此前看过的资料，光源、镜头、工作台这几项，都已经搞了十几年了，实验室层次的技术应当是已经突破了的。
光刻机也不是需要批量制造的东西，如果能够单件制造出来，哪怕是磨100个镜片只有1个能用的，至少也就意味着不会被人卡脖子卡死了。
我倒觉得，可能主要障碍是专利，是不是我们不能用ASML的技术路线，而必须有自己的技术路线。这一条是可以作为谈判条件的，如果你无端禁止向我们提供这项产品，那我们就没理由尊重你的专利了，大不了掀桌子呗。
基于这样的认识，我对有关国产光刻机的各种传闻持乐观态度。如果某一天某省的电视台说日产40台EUV光刻机的生产基地建成投产，我绝对不会像对待商用核聚变的新闻那样震惊。